단일 주파수 DPSS 레이저의 산업 응용 분야를 알고 있습니까? 파트 2 - 레이저 안전

다이오드 펌프 고체 레이저광범위한 응용 분야를 가진 새로운 유형의 레이저이며 최근 몇 년 동안 세계에서 빠르게 발전했습니다.

고체 레이저 레이저는 반도체 레이저를 사용하여 고정 파장 레이저를 펌핑 소스로 출력하여 이전의 크립톤 램프 또는 크세논 램프 펌프 레이저 결정을 대체하며 일반적으로 녹색 및 기타 컬러 레이저 포인터에서 발견됩니다.

3. 반도체 집적회로용 레이저 간섭계

집적 회로는 정보화 시대의 초석입니다. 무어의 법칙과 보다 정확한 측정 및 감지 소스에 대한 요구를 반영하여 디바이스 피처 크기가 감소하는 동안 실리콘 웨이퍼 크기는 증가하고 있습니다. 웨이퍼 표면의 복잡성이 증가함에 따라 제조 장비는 공정 중 및 이후에 최적화 및 품질 관리를 위해 모니터링되어야 합니다. 비용 및 에너지 절약이 최우선 과제입니다. 더 작고 효율적인 레이저 기술을 개발하면 생산을 최적화하고 제조 프로세스를 보다 효율적으로 만들어 단위 비용을 줄일 수 있습니다.

DPSS 레이저(Diode Pump Solid State Laser)는 새로운 유형의 레이저로 응용 분야가 광범위하고 최근 몇 년 동안 세계에서 급속히 발전했습니다.

Laser interferometry for semiconductor integrated circuits

고해상도 이미징 측정의 정확성과 정확도를 위해서는 올바른 레이저의 몇 가지 주요 특성이 필요합니다.

① 파장: 반도체 산업의 파장 요구 사항은 주로 자외선 영역이지만, 고조파 변환 비효율 문제는 이보다 낮은 파장에서 문제가 됩니다. 이것은 최신 연속파 단일 주파수 DPSS 레이저가 간극을 채우고 결함 감지 오류를 줄일 수 있는 곳입니다. 단일 주파수 소스는 검사 및 측정 중에 정확한 간섭 패턴을 보장합니다.

②저잡음: 웨이퍼 검출 레이저는 검출 오류를 최소화하고 신호 잡음과 레이저 간의 분석 부정확성을 방지하기 위해 저잡음을 방출해야 합니다. 좁은 선폭과 결합된 낮은 잡음 수준은 신호 대 잡음비를 개선하고 측정 및 감지 감도를 향상시킵니다.

③ 안정성: 이 레이저는 긴 측정에서 오류를 제거하고 안정적인 작동을 보장하기 위해 우수한 스펙트럼 및 전력 안정성과 건조 길이가 필요합니다. 출력 안정성과 장기 파장 안정성이 뛰어난 매우 안정적인 레이저는 정확한 고해상도 측정이 필요한 응용 분야에 이상적입니다.

④소형 설치 공간: 소형 레이저는 기존 설정에 추가하지 않고 기존 시스템에 통합할 수 있으며 작업대 공간 요구 사항을 줄입니다. 최신 DPSS 레이저는 설치 공간이 작고 설치 공간이 작으면서 고출력에서 우수한 빔 품질을 생성할 수 있어 배치 및 작동에서 최대의 유연성을 제공합니다.

⑤낮은 유지 보수: 진행 중인 유지 보수 일정을 취소하면 반도체 제조업체의 계획되지 않은 가동 중단을 방지하여 생산 시간과 비용을 절약할 수 있습니다.

또한 고체 레이저 작동에 필요한 소모품이 없기 때문에 처리 및 작동 중에 중단 시간이 거의 없으며 사용된 가스를 보충하거나 다른 광학 부품을 수리하기 위해 멈출 필요가 없습니다. 이를 통해 높은 수율을 유지하면서 생산 속도를 높일 수 있으며 측정 품질을 개선하고 수집된 데이터의 복잡한 분석 필요성을 줄일 수 있습니다.

４． 유세포분석

유동 세포 계측법은 이질적인 생물학적 샘플 집단을 포함하는 집중된 유체 스트림에 입사되는 빛을 분석하여 세포 특성을 정량적으로 결정하는 방법입니다. 집중된 유체 흐름에 떠 있는 세포 또는 기타 입자는 광학 경로를 개별적으로 고속으로 통과하여 산란 또는 형광 방출을 통해 입사광의 에너지 변화를 일으킵니다. 생성된 빛을 감지하고 검사하면 크기, 모양, 건강, 표면 특성, 단백질 및 부산물과 같은 다양한 특성을 초당 수천 개의 세포로 결정하거나 구별할 수 있습니다. 이를 통해 세포의 구조 또는 구성을 직접 검사할 수 있습니다. 이 접근 방식을 통해 다양한 매개변수에 대해 동시에 빠르고 정확하며 비침습적인 데이터 수집이 가능합니다. 일반적으로 동일한 측정 프로세스에서 여러 광원과 형광단 마커를 사용하여 세포의 특정 구성 요소에 결합하여 신호를 향상시키거나 공간적으로 더 잘 제한합니다. 테스트 중인 세포는 실시간으로 구별할 수 있어 세포 수준에서 복잡한 액체의 정전 여과가 가능합니다.

특히 생명 과학뿐만 아니라 미생물학, 식품 품질 관리, 동식물 세포학 등 많은 응용 분야가 있습니다. 예를 들어, 면역학에서 유동 세포측정법은 크기와 형태를 기반으로 다양한 면역 세포 아형을 식별, 분리 및 특성화하는 데 사용됩니다. 자외선 레이저는 부분적으로 비용 절감 및 가용성 증가로 인해 부분적으로는 사용이 필요한 응용 분야의 증가로 인해 유세포 분석 응용 분야에서 점점 더 중요해지고 있습니다. 상업용 UV 형광 염료(특정 파장, 이 경우 UV를 흡수하도록 설계된 검출 시약)의 최근 개발은 해당 분야에 대한 관련성이 증가하고 있음을 입증합니다. 역사적으로 이러한 UV 요구 사항은 근자외선(가장 일반적으로 375nm)에서 작동하는 DPSS 레이저, 325nm에서 작동하는 HeCd 레이저 또는 아르곤 이온 또는 크립톤 이온 레이저 시스템에 의해 충족되었습니다. 이 레이저는 실제로 자외선이 아니거나 크기가 크며 작동하려면 지속적인 유지 관리가 필요합니다. 고체 기능과 작은 크기를 갖춘 DPSS UV 레이저의 가용성은 이러한 많은 응용 분야에 새로운 비용 효율적이고 실용적인 대안을 제공합니다.

예를 들어, 1985년에 처음 도입된 형광 표시기 Indo-1의 검출은 세포간 조절의 역할에서 중요한 요소인 칼슘 이온 Ca2 +의 비율을 검출할 수 있게 합니다. 349 nm에서 여기될 때 형광 염료의 방출 피크는 Ca2 + 의 존재 하에서 이동하여 두 방출 파장 피크의 상대 강도를 통해 존재하는 칼슘 이온 농도를 결정할 수 있습니다. 연구원들은 사용 가능한 "색상"을 확장하고 적합한 자외선 레이저에 대한 필요성을 증가시킴으로써 더 넓은 범위의 동시에 측정된 매개변수를 추가로 분석할 수 있는 새로운 저파장 형광 탐침을 개발하려고 합니다.

Flow cytometry